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復合式分子泵按結構可分為哪幾種呢?

 
  隨著復合式分子泵的不斷改進,其應用領域越來越廣,在某些抽氣系統上可以替代擴散泵,縮短了系統的抽氣時間,并可獲得無油污染的清潔真空環境。
  復合式分子泵用來獲得高真空和超高真空,其廣泛應用于高能加速器、可控熱核反應裝置、等離子體物理空間研究、表面物理和分析儀器、半導體和光學元器件制造、平板顯示、太陽能電池、真空鍍膜、真空冶煉等涉及真空技術的電子、冶金、化工、科研等眾多領域。
  復合式分子泵的形式很多,按結構分,主要有兩種:一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯組合;另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯組合。渦輪級主要用來提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的葉片形狀,級數在l0級以內。牽引級主要用來增加泵的壓縮比,提高泵的出口壓力。
  盤式牽引級是在平板圓盤平面上按一定規律開出數條型線溝槽,然后將數塊圓盤串接起來構成,型線有阿基米德螺線、對數螺線、圓弧線等。抽氣時靠高速轉動的圓盤對氣體分子進行“拖動”,使其沿溝槽作由內向外及由外向內的往復折回的定向流動,從而達到抽氣目的。
  筒式牽引級是在圓筒形的轉子或定子的圓柱面上開一定斷面形狀的溝槽,如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉子圓柱外表面或泵體內表面上,因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進行動量傳遞,提高泵的抽氣效果。在設計制造中,可以通過改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角(螺旋升角)來達到較理想的抽氣效果。

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